お問い合わせ
膜厚測定装置

                

2016年6月28日展示会

2016年9月7日から9日まで、幕張メッセで開催される「JASIS2016(旧:分析展)」に出展します。皆様のご来場をお待ちしております。

2016年6月24日展示会

6月22日~24日に東京ビッグサイトで開催された「機械要素技術展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

2016年5月30日メディア掲載

WEBJournal4月号に掲載された弊社記事「機能性フィルムのコーティング膜の膜厚測定」がご覧頂けます。

掲載記事はこちらから[PDF]

2016年5月28日展示会

5月25日~27日にパシフィコ横浜で開催された「人とくるまのテクノロジー展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

2016年4月11日展示会

4月6日~8日に東京ビッグサイトで開催された「ファインテックジャパン」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

2016年3月3日新製品

プロフィルム3D/ProFilm3D 非接触光学式段差計の情報を追加しました

2016年2月1日展示会

1月27日~29日に東京ビッグサイトで開催された「nano tech 2016」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

2015年12月21日展示会

12月16日~18日に東京ビッグサイトで開催された「SEMICON Japan 2015」に出展しました。 皆様のご来場に感謝します。

2015年10月13日メディア掲載

コンバーテック10月号に弊社記事「エレクトロニクス分野の膜厚管理」が掲載されました。10月号コンテンツ一覧はこちらから。 http://www.ctiweb.co.jp/
ご希望の方には抜き刷りをお送りします。お問い合わせフォームよりご請求下さい。

2015年10月1日新製品

F3-sXシリーズ 基板厚測定システムの情報を追加しました

2014年9月11日アプリケーション

アプリケーション更新しました。最新のトピックはミニマルファブです。

非接触光学式段差計

3D Optical Profiler 画像 ProFilm 3D 非接触光学式段差計

Profilm3D 非接触光学式段差計

50nmから10mmの段差を測定

高性能 コンパクト 低価格

 

Profilm3Dは、垂直走査白色干渉法と位相シフト干渉法を組み合わせた非接触光学式段差計です。

光が透過しない不透明膜や金属膜の膜厚が簡単に測定可能です。

コンパクトでフットプリントも小さく、視野は10倍レンズで2mm角、デジタルズームを併用することにより、様々な用途でご利用いただけます。


シングルポイント膜厚測定システム

画像F20 膜厚測定システム

F20 膜厚測定システム

世界中で数千台の導入実績を誇る多目的で低価格な膜厚測定システムです。測定する膜厚や膜の特性に応じて、豊富なラインナップから最適なプロダクトをお選びいただけます。

画像aRTie 反射・透過・膜厚測定

aRTie 反射・透過・膜厚測定

測定装置と測定ステージが一体化されたコンパクト設計。反射率、透過率を同時に測定し、簡単に膜厚の測定が可能です。透明基材上の各種膜厚を測定するのに最適です。

画像F3-sX 基板厚測定システム

F3-sX 基板厚測定システム

厚膜や基板厚測定に特化したシステム。顕微鏡を使わない新たな光学系により、10μmの小スポット径で粗さや凹凸のあるサンプルにも対応します。長寿命光源を採用。


顕微鏡式膜厚測定システム

画像F40 顕微鏡式膜厚測定

F40 汎用顕微鏡モデル

汎用の顕微鏡に取り付け可能。ビデオカメラを内蔵し、PC上で測定ポイントの確認が出来ます。

画像F40-UV 顕微式膜厚測定

F40-UV 紫外対応モデル

紫外領域(200~1100nm)に対応。膜厚が薄いSiO2膜・SiN膜や有機膜の測定に最適。

画像F40-NIR 顕微式膜厚測定

F40-NIR 近赤外対応モデル

近赤外領域(900~1700nm)に対応。厚い膜や光拡散フイルムやセパレータなどの測定に最適。


自動マッピング膜厚測定システム

画像F50 自動膜厚測定システム

F50 自動膜厚測定システム

300mmから2インチウエハーに対応。同心円、正方形、ラインなどのパターンからの測定ポイントを柔軟に選択、指定できます。面内25ポイントを21秒で高速に測定し、マッピング表示します。

画像F80 顕微自動膜厚測定

F80 顕微自動膜厚測定

従来の1ポイントずつ測定を行なう技術とは異なり、革新的なThicknessImagingTM技術は、測定ポイント付近の数千もの厚みデータを瞬時に取得し、高速に膜厚イメージを生成します。

画像F60 ノッチ検出自動膜厚測定

F60 ノッチ検出自動膜厚測定

ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構が付いた自動マッピング膜厚測定システム。200mm/300mmに対応。

 

当社は、フィルメトリクス社製品の独立した正規代理店です。