アプリケーション　フィルメトリクス株式会社は膜厚測定を通じてお客様のものづくりを支援するソリューションカンパニーです。

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フィルメトリクス社の膜厚測定システムは、さまざまな用途でご利用頂いております。
一部の導入事例をご紹介いたします。更に多くの事例を、http://jp.filmetrics.com/でご紹介していますので、そちらもご覧ください。
また、特許などのドキュメントとして公開されている使用事例がございます。Googleなどで検索して頂ければ多くの事例がご覧いただけます。

半導体のR&Dから量産ラインまで対応

半導体の製品やプロセス開発、量産ラインなど幅広い用途でご利用頂いております。
卓上式の膜厚測定システムF20、顕微領域測定用の膜厚測定システムF40、自動ステージ/マッピング機能を有した膜厚測定システムF50が最適です。パターン済ウエハーにはF42やF80での測定が最適です。

アプリケーション内容

SiO2, SiNx, アモルファスシリコン, ポリシリコン　
　 Googleで検索(検索ワード) ： SiO2　フィルメトリクス　発明
フォトレジスト, ポリイミド、厚膜レジスト(SU-8)
　 Googleで検索(検索ワード) ：レジスト膜　膜厚　F20　発明
ポリッシング後の残シリコン膜厚やCMP研磨剤の開発
　 Googleで検索(検索ワード) ：研磨　フィルメトリクス発明

フラットパネルのR&Dから量産ラインでの品質管理まで対応

FPDの製造工場でのITO, MgO, レジストなどの膜厚管理や、ガラス/フィルムの工場での高機能フィルムの膜厚管理などでご利用頂いております。
もちろん、卓上式の膜厚測定システムとしてR&Dの現場で数多くご利用頂いております。

アプリケーション内容

ITOなどの導電膜やMgOなどの保護膜
　 Googleで検索(検索ワード) ： ITO　F20　発明
高機能フィルムなどの膜厚
　 Googleで検索(検索ワード) ：フィルム　フィルメトリクス　発明
レジスト、ポリイミド
　 Googleで検索(検索ワード) ：レジスト膜　膜厚　F20　発明
ハードコート、エアギャップなど
　 Googleで検索(検索ワード) ：ハードコート　フィルメトリクス　発明

太陽光発電

主に薄膜系太陽光発電に注力し商品開発を進めています。単層膜での測定はもちろん、TCO(導電膜)上の膜厚測定も可能です。

アプリケーション内容

薄膜系シリコンのアモルファスシリコン層
　 Googleで検索(検索ワード) ：太陽光発電技術　フィルメトリクス
CdTe太陽電池のCdSやCdTe層
CIGS系太陽電池の透明電極層やバッファー層

医療用デバイス

医療デバイスに施された、腐食から保護・組織の損傷・感染さらには拒絶反応を防ぐものなど様々な目的の膜材料があります。血管形成術用のバルーンなど医療デバイスが正しく機能するためには、均一で適切な膜厚である必要があります。 F20やF40はこれらの膜厚を管理するのに多くの研究所、工場で使用されています。

アプリケーション内容

ステント:パッシベーションや薬剤溶出性コーティング
ガイドワイヤと注射針: 保護コーティング
カテーテルや血管形成用バルーン壁の膜厚: 100ミクロン超の膜厚測定が可能