遠慮なくお問い合わせください。基本的に無料で行っております。
是非、フィルメトリクス社の膜厚測定システムの実力をご確認ください。

1) 測定システムに障害が発生した
2) 測定レシピの設定が上手く出来ていない
この２つが主な原因です。

主な原因は、1)光源ランプの寿命 2)ファイバーケーブルの切断です。
光源ランプのご発注や、ファイバーケーブル断の確認方法についてはお問い合わせ下さい。
注) UV光システムをご利用の方は、絶対に光を直接見ないで下さい。

測定スペクトラムをメールでお送り下さい。FILMeasureソフトウエアの左上ツールバーの「File」... 「Save Spectrum」をクリックし、適当なファイル名をつけて保存します。合わせて、サンプルに関する膜厚や膜材料の情報をメール本文にご記入ください。
当社エンジニアが測定の可否を含め、測定レシピを検討します。

GOFは、実測のスペクトラム(青線)と理論上のスペクトラム(赤線)の差の2乗平均平方根を基に算出されます。実測のスペクトラムと測定レシピから算出される理論上のスペクトラムがどの程度合致しているか表しています。

GOFの許容範囲はお客様のサンプルによって異なります。
Si基板上のSiO2などは0.98程度(ほぼ合致)の値を表示します。しかし、例えば下記のアルミ基板上のパリレンコーティングの場合、理論上アルミ基板上のサンプルの反射率は90%程度(灰色線)になりますが、表面粗さ等の影響で実際のサンプルは50%程度の反射率(青線)です。これが原因でGOFの値は0.5と低くなりますが、値が低いからと言って測定出来ていないと判断する基準になるものではありません。

※その他、ご質問がございましたら、お問い合わせフォームもしくは、お電話でご連絡ください。