ミニマルファブ 小径ウエハーの対応

ミニマルファブとは

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブとはハーフインチウエハーを製造基板単位とする革新的な半導体製造生産システムであり、産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会が中心となり開発を進めてきたものです。

今後のファブシステムの一つの理想である最小単位での製造を行うミニマルファブは、世界中で使って頂ける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。

 

 

ミニマルファブシステムの開発

ハーフインチウエハー

ハーフインチウエハー

ファブシステム研究会会員企業の一つである株式会社ピーエムティー様は、そのプロジェクトの一つとして、リソグラフィプロセスの要となる、ミニマルマスクレス露光装置の開発をしていらっしゃいます。

その小さなウエハーにつけた様々な膜の測定に、フィルメトリクス膜厚測定装置は使用されています。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
夏季休業のお知らせ
2018年9月18日~21日に名古屋国際会議場で開催される「第79回応用物理学会学術講演会 展示会 JSAP EXPO AUTUMN 2018」に出展致します。皆様のご来場…
2018年9月5日~7日に幕張メッセで開催される「JASIS2018」に出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。 

Page
top