ミニマルファブ 小径ウエハーの対応

ミニマルファブとは

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブとはハーフインチウエハーを製造基板単位とする革新的な半導体製造生産システムであり、産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会が中心となり開発を進めてきたものです。

今後のファブシステムの一つの理想である最小単位での製造を行うミニマルファブは、世界中で使って頂ける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。

 

 

ミニマルファブシステムの開発

ハーフインチウエハー

ハーフインチウエハー

ファブシステム研究会会員企業の一つである株式会社ピーエムティー様は、そのプロジェクトの一つとして、リソグラフィプロセスの要となる、ミニマルマスクレス露光装置の開発をしていらっしゃいます。

その小さなウエハーにつけた様々な膜の測定に、フィルメトリクス膜厚測定装置は使用されています。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2019年5月22日~24日にパシフィコ横浜で開催される「人とくるまのテクノロジー展2019 横浜」に出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。
4月24日~26日にパシフィコ横浜で開催された「OPIE ’19 (ポジショニングEXPO)」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。
3月9日~12日に東京工業大学大岡山キャンパスで開催された「JSAP EXPO Spring 2019 (第66回応用物理学会春季学術講演会)」に出展しました。皆様のご…

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