ミニマルファブ 小径ウエハーの対応

ミニマルファブとは

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブのコンセプト

ミニマルファブとはハーフインチウエハーを製造基板単位とする革新的な半導体製造生産システムであり、産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会が中心となり開発を進めてきたものです。

今後のファブシステムの一つの理想である最小単位での製造を行うミニマルファブは、世界中で使って頂ける柔軟な汎用性と超低コスト、高信頼性を併せ持ったイノベーショナルなシステムです。

 

 

ミニマルファブシステムの開発

ハーフインチウエハー

ハーフインチウエハー

ファブシステム研究会会員企業の一つである株式会社ピーエムティー様は、そのプロジェクトの一つとして、リソグラフィプロセスの要となる、ミニマルマスクレス露光装置の開発をしていらっしゃいます。

その小さなウエハーにつけた様々な膜の測定に、フィルメトリクス膜厚測定装置は使用されています。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
Zeta-20 マルチ共焦点顕微鏡システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
5月27日~29日に開催されたSmart Sensing Online に出展しました。ご来場ありがとうございました。
コンバーテック2020年3月号に弊社記事「光学式装置における表面形状・膜厚測定」が掲載されました。
OPIE’20オンライン展示会に出展しています

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