SAWデバイスの研究開発

橋本研究室のご紹介

弾性表面波素子の構造

千葉大学 橋本研究室では超高周波超音波を利用した電子素子を研究し、特に携帯電話等に広く利用されている弾性表面波(SAW)素子について、 世界各国の企業・研究機関と共に、その高度化技術開発を推進されています。

 

 

高性能・新機能SAW素子の開発

そのプロジェクトの一つとして、次世代通信実現に必要な超高性能弾性表面波(SAW)素子の開発及びそれに関連する技術の研究があります。
そのSAW素子の材料として注目されている圧電材料ScAlN薄膜の活用により、既存の材料では実現不可能な、より高周波帯で動作する高性能な弾性波素子実現を目標とされています。
そのScAlN薄膜の膜厚測定に、フィルメトリクスF20膜厚測定システムが用いられています。

 

測定例 – ScAlNの膜厚及び屈折率

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
表面形状測定例がこちらからご覧頂けるようになりました
2018年12月12日~14日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2018」に出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。 
9月18日~21日に名古屋国際会議場で開催された「第79回応用物理学会学術講演会 展示会 JSAP EXPO AUTUMN 2018」に出展しました。皆様のご来場に感謝…

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