製品情報

3次元表面形状測定システム一覧へ

• Profilm3D 3次元表面形状測定システム コンパクトながら、三次元形状の測定に必要な機能を網羅し、低価格を実現しています。ミクロンオーダーの段差や形状の高精度測定に最適な垂直走査干渉法(WLI)と、ナノオーダーの形状測定、粗さの測定に最適な位相シフト干渉法(PSI)の両測定モードの他、自動ステージ、容易なオペレーションと測定データの解析や管理を行うソフトウェアなどすべて標準装備されています。 詳細はこちら
• Zeta-20 マルチ共焦点顕微鏡システム 独自のZDot™テクノロジーにより、時間のかかる従来の共焦点顕微鏡の走査測定から解放され、1回のスキャンで3次元形状の測定を可能にしました。 詳細はこちら

シングルポイント膜厚測定システム一覧へ

• F20 膜厚測定システム 世界中で数千台の導入実績を誇る多目的で低価格な膜厚測定システム 詳細はこちら
• F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム 膜厚測定装置と測定ステージが一体化。コンパクトな反射率・透過率・膜厚測定システム 詳細はこちら
• F3-sX 基板厚測定システム 厚膜や基板厚測定に特化したシステム。厚い樹脂膜、SiやInP基板厚の測定に最適 詳細はこちら
• F3-CS 卓上膜厚測定システム 厚膜や基板厚測定に特化したシステム。厚い樹脂膜、SiやInP基板厚の測定に最適 詳細はこちら

顕微鏡式膜厚測定システム一覧へ

• F40 汎用顕微鏡モデル お手持ちの汎用顕微鏡に取り付け、膜厚測定システムへと機能拡張 詳細はこちら
• F40-UVX 紫外･近赤外対応顕微鏡モデル 200nm〜1700nmの波長範囲対応。数nmから数百μmの膜厚測定に対応。 詳細はこちら

自動マッピング膜厚測定システム一覧へ

• F50 自動膜厚測定システム ２インチから450mmまでのウエハーに対応。面内25ポイントを21秒で高速測定。 詳細はこちら
• F60 アライメント自動膜厚測定システム アライメント・オートステージに対応した自動膜厚測定システム 詳細はこちら
• F54 顕微式自動膜厚測定システム オートステージ・オートフォーカスに対応した半導体向け顕微式自動膜厚測定システム 詳細はこちら