F40-UVX 紫外･近赤外対応顕微鏡モデル

F40 UV光対応、近赤外光対応顕微鏡式膜厚測定システム

F40-UVX 紫外・近赤外顕微鏡モデルは、フィルメトリクス社製の分光専用顕微鏡に取り付けることで、顕微領域で紫外から近赤外までの分光膜厚測定を可能にします。

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。

紫外領域、近赤外領域に対応した膜厚測定用顕微鏡により、広い範囲での膜厚の測定が可能になります。

主な特徴

PCモニター上に顕微鏡の観察画像を表示！測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます
紫外領域、近赤外領域に対応した膜厚測定用顕微鏡オプションを使用することで、広い範囲での膜厚の測定が可能

主な用途

フラットパネル	セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム
半導体	レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジストなど
医療部品	パッシベーション、薬剤コーティング、ハードコート
薄膜太陽電池	CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど
LED	アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など

製品ラインナップ

モデル		F40-UV	F40	F40-NIR	F40-EXR	F40-UVX
測定波長範囲		190 – 1100nm	400 – 850nm	900 – 1700nm	400 – 1700nm	190 – 1700nm
膜厚測定範囲	5X	–	20nm – 40μm	40nm – 120μm	20nm – 120μm	–
	10X	–	20nm – 35μm	40nm – 70μm	20nm – 70μm	–
	15X	4nm – 30μm	20nm – 40μm	40nm – 100μm	20nm – 100μm	4nm – 100μm
	50X	–	20nm – 2μm	40nm – 4μm	20nm – 4μm	–
	100X	–	20nm – 1.5μm	40nm – 3μm	20nm – 3μm	–
正確性*		膜厚の±0.2%		膜厚の±0.4%	膜厚の±0.2%
正確性*		1nm	2nm	3nm	2nm	1nm

測定例

膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、パワフルな独自の膜厚解析アルゴリズムを有し、かつ直感的に利用いただけます。

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。