F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル

F40 UV光対応、近赤外光対応顕微鏡式膜厚測定システム

F40-UVX 紫外・近赤外顕微鏡モデルは、フィルメトリクス社製の分光専用顕微鏡に取り付けることで、顕微領域で紫外から近赤外までの分光膜厚測定を可能にします。

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。

紫外領域、近赤外領域に対応した膜厚測定用顕微鏡により、広い範囲での膜厚の測定が可能になります。

主な特徴

  • お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定が可能
  • PCモニター上に顕微鏡の観察画像を表示!測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます
  • 紫外領域、近赤外領域に対応した膜厚測定用顕微鏡オプションを使用することで、広い範囲での膜厚の測定が可能

主な用途

フラットパネル セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム
半導体 レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジストなど
医療部品 パッシベーション、薬剤コーティング、ハードコート
薄膜太陽電池 CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど
LED アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など

製品ラインナップ

モデル

F40-UV

F40

F40-NIR

F40-EXR

F40-UVX

測定波長範囲

190 – 1100nm

400 – 850nm

900 – 1700nm

400 – 1700nm

190 – 1700nm






5X

20nm – 40μm

40nm – 120μm

20nm – 120μm

10X

20nm – 35μm

40nm – 70μm

20nm – 70μm

15X

4nm – 30μm

20nm – 40μm

40nm – 100μm

20nm – 100μm

4nm – 100μm

50X

20nm – 2μm

40nm – 4μm

20nm – 4μm

100X

20nm – 1.5μm

40nm – 3μm

20nm – 3μm

正確性*

膜厚の±0.2%

膜厚の±0.4%

膜厚の±0.2%

1nm

2nm

3nm

2nm

1nm

 

測定例

膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、パワフルな独自の膜厚解析アルゴリズムを有し、かつ直感的に利用いただけます。

 

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。 

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
aRTie 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2017年12月13日~15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN」に出展します。皆様のご来場をおまちしております。
2017年10月31日~11月1日に筑波大学東京キャンパスで開催される「OPJEXPO 2017」(日本光学会附設展示会)に出展します。
2017年9月13日~15日に東京ビッグサイトで開催された「測定計測展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

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