F40 汎用顕微鏡モデル
F40顕微鏡式膜厚測定システムは、お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定を可能にします。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。
主な特徴
- お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定が可能
- PCモニターに顕微鏡の観察画像を表示！測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定することが出来ます
主な用途
| フラットパネル | セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム |
|---|---|
| 半導体 | レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジストなど |
| 医療部品 | パッシベーション、薬剤コーティング、ハードコート |
| 薄膜太陽電池 | CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど |
| LED | アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など |
製品ラインナップ
F40には、薄い膜の測定に最適なF40-UV、厚い膜の測定に最適なF40-NIR等のラインナップがございます。
| モデル | F40 | |
|---|---|---|
| 測定波長範囲 | 400 – 850nm | |
| 膜厚測定範囲 | 5倍レンズ使用時 | 20nm – 40μm |
| 10倍レンズ使用時 | 20nm – 35μm | |
| 50倍レンズ使用時 | 20nm – 2μm | |
| 100倍レンズ使用時 | 20nm – 1.5μm | |
| 正確性* | 膜厚の±0.2% | |
| 2nm | ||
＊フィルメトリクス社が提供するSi基板上のSiO2膜を測定した場合の機器本体の正確性。
測定例
膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、パワフルな独自の膜厚解析アルゴリズムを有し、かつ直感的に利用いただけます。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。
