F40 汎用顕微鏡モデル

F40 汎用顕微鏡モデル

F40 汎用顕微鏡モデル
F40顕微鏡式膜厚測定システムは、お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定を可能にします。

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。

主な特徴

  • お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定が可能
  • PCモニターに顕微鏡の観察画像を表示!測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定することが出来ます

主な用途

フラットパネル セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム
半導体 レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジストなど
医療部品 パッシベーション、薬剤コーティング、ハードコート
薄膜太陽電池 CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど
LED アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など

製品ラインナップ

F40には、薄い膜の測定に最適なF40-UV、厚い膜の測定に最適なF40-NIR等のラインナップがございます。

 

モデル F40
測定波長範囲 400 – 850nm
膜厚測定範囲 5倍レンズ使用時 20nm – 40μm
10倍レンズ使用時 20nm – 35μm
50倍レンズ使用時 20nm – 2μm
100倍レンズ使用時 20nm – 1.5μm
正確性* 膜厚の±0.2%
2nm

*フィルメトリクス社が提供するSi基板上のSiO2膜を測定した場合の機器本体の正確性。

測定例

膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、パワフルな独自の膜厚解析アルゴリズムを有し、かつ直感的に利用いただけます。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
aRTie 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2017年12月13日~15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN」に出展します。皆様のご来場をおまちしております。
2017年10月31日~11月1日に筑波大学東京キャンパスで開催される「OPJEXPO 2017」(日本光学会附設展示会)に出展します。
2017年9月13日~15日に東京ビッグサイトで開催された「測定計測展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

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