F40 汎用顕微鏡モデル

F40顕微鏡式膜厚測定システムは、お手持ちの顕微鏡に取り付けることで、顕微領域での膜厚測定を可能にします。

パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。

フラットパネル	セルギャップ、ポリイミド、ITO、ARフィルム、各種光学フィルム
半導体	レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコン、厚膜レジストなど
医療部品	パッシベーション、薬剤コーティング、ハードコート
薄膜太陽電池	CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど
LED	アルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)、リン化ガリウム(GaP)など

F40には、薄い膜の測定に最適なF40-UV、厚い膜の測定に最適なF40-NIR等のラインナップがございます。

＊フィルメトリクス社が提供するSi基板上のSiO2膜を測定した場合の機器本体の正確性。

膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、パワフルな独自の膜厚解析アルゴリズムを有し、かつ直感的に利用いただけます。
パソコンモニター上に顕微鏡の観察画像が表示されるので、測定箇所を確認しながら簡単に膜厚測定をすることが出来ます。