F60 アライメント自動膜厚測定システム

F60 アライメント自動膜厚測定システム

F60 アライメント自動膜厚測定システム
F60自動マッピング膜厚測定システムは、ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構を有したF50の上位モデルです。
サンプルをステージに置いて測定ボタンをクリックするだけで、アライメント・ベースライン・膜厚マッピングまで自動で行います。

主な特徴

  • ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構を有したF50の上位モデル
  • アライメント・ベースライン・膜厚マッピングの自動測定

主な用途

半導体 レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコンなど

製品ラインナップ

モデル F60-t F60-t-UV F60-t-NIR F60-t-EXR
測定波長範囲 380 – 1050nm
190 – 1100nm 950 – 1700nm 380 – 1700nm
膜厚測定範囲 20nm – 70μm 5nm – 40μm 100nm – 250μm 20nm – 250μm
正確性 膜厚の±0.2% 膜厚の±0.4% 膜厚の±0.2%
2nm 1nm 3nm 2nm

測定例

シリコンウエハー上の、酸化膜、レジストなどの測定が可能です。サンプルをセットするだけで、アライメント、リファレンスなどは全自動で行います。

 

シリコン基板上の酸化膜の測定

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
aRTie 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2017年12月13日~15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN」に出展します。皆様のご来場をおまちしております。
2017年10月31日~11月1日に筑波大学東京キャンパスで開催される「OPJEXPO 2017」(日本光学会附設展示会)に出展します。
2017年9月13日~15日に東京ビッグサイトで開催された「測定計測展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

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