F60 アライメント自動膜厚測定システム
F60自動マッピング膜厚測定システムは、ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構を有したF50の上位モデルです。
サンプルをステージに置いて測定ボタンをクリックするだけで、アライメント・ベースライン・膜厚マッピングまで自動で行います。
サンプルをステージに置いて測定ボタンをクリックするだけで、アライメント・ベースライン・膜厚マッピングまで自動で行います。
主な特徴
- ノッチ検出、自動ベースライン機能、インターロック機構を有したF50の上位モデル
- アライメント・ベースライン・膜厚マッピングの自動測定
主な用途
| 半導体 | レジスト、酸化膜、窒化膜、アモルファス/ポリシリコンなど |
|---|
製品ラインナップ
| モデル | F60-t | F60-t-UV | F60-t-NIR | F60-t-EXR |
|---|---|---|---|---|
| 測定波長範囲 | 380 – 1050nm |
190 – 1100nm | 950 – 1700nm | 380 – 1700nm |
| 膜厚測定範囲 | 20nm – 70μm | 5nm – 40μm | 100nm – 250μm | 20nm – 250μm |
| 正確性 | 膜厚の±0.2% | 膜厚の±0.4% | 膜厚の±0.2% | |
| 2nm | 1nm | 3nm | 2nm | |
測定例
シリコンウエハー上の、酸化膜、レジストなどの測定が可能です。サンプルをセットするだけで、アライメント、リファレンスなどは全自動で行います。
シリコン基板上の酸化膜の測定