Profilm3D 3次元表面形状測定システム

Profilm3D 3次元表面形状測定システム

白色光干渉技術を用いたシステムで、非接触で段差・粗さを含む三次元形状の測定ができます。

小型サンプルの測定に適したProfilm3Dは、三次元形状の測定に必要な機能を網羅し、しかも従来品と比較してコンパクト、低価格を実現しています。
ミクロンオーダーの段差や形状の高精度測定に最適な垂直走査干渉法(VSI)と、ナノオーダーの形状測定、粗さの測定に最適な位相シフト干渉法(PSI)の両測定モードの他、各種倍率の対物レンズに対応したリボルバー、自動ステージ、容易なオペレーションと測定データの解析や管理を行うソフトウェアなど、標準段差サンプルを含むすべてが標準装備されています。

主な特徴

  • 低価格!
    必要な機能を全て装備しながら低価格を実現
  • ナノメートルオーダーの高さ分解能
    位相シフト干渉法を採用し、高い分解能を実現
  • 充実の標準装備
    X-Y自動ステージ、手動リボルバー、自動光量調整、オートフォーカス機能
  • コンパクトな筐体
    本体のフットプリントは30×30cmとコンパクトな設計
  • VSIとPSIの両測定モードを搭載
    段差測定と粗さ測定の両方を1台で測定
  • 簡単操作
    基本操作は簡単なマウス操作だけ
  • ISOに準拠した粗さの測定
    国際規格 ISO25178 に準拠
  • 拡張性
    各種対物レンズの選択、データステッチング機能

主な用途

半導体 ウエハーバンプ、CMPパットなど
医療分野 注射針、人工関節、ステントなど
実装基盤 銅配線、バンプ、レンズなど

仕様

測定仕様

 

  垂直走査白色干渉法(VSI) 位相シフト干渉法(PSI)
測定範囲 50nm – 10mm 0 – 3μm
正確性 0.7%
再現性 0.1%
反射率対応範囲 0.05% – 100% 0.05% – 100%

 

装置仕様

XY自動ステージ 100mm x 100mm
Z軸駆動範囲 100mm
ピエゾ駆動範囲 500μm
スキャンスピード 12μm / 秒
カメラ 2592 x 1944 (5Mピクセル)
本体重量 15kg

 

対物レンズ仕様

  5倍  10倍 20倍 50倍  100倍
視野 4.0 x 3.4mm  2.0 x 1.7mm 1.0 x 0.85mm 0.4 x 0.34mm  0.2 x 1.7mm
レンズ分解能  2.1μm 0.92μm  0.69μm  0.5μm  0.4μm 

 

測定例

 

粗さの測定

シリコン基板上の粗さの測定。ISOに準拠した線粗さ(R)と面粗さ(S)の両方の測定ができます。

 

段差の測定

銅基板上のナノオーダの凹凸を測定。1回の測定でナノオーダの凹凸を可能。

レンズの形状

レンズの形状を測定を測定。高精度での表明形状の観察ができます。

段差の測定

遠近両用メガネの段差を測定。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
aRTie 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2017年12月13日~15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN」に出展します。皆様のご来場をおまちしております。
2017年10月31日~11月1日に筑波大学東京キャンパスで開催される「OPJEXPO 2017」(日本光学会附設展示会)に出展します。
2017年9月13日~15日に東京ビッグサイトで開催された「測定計測展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

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