F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム

F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム

F10-RTは、測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システムです。 反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数を簡単に解析することができます。

USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。

主な特徴

  • 測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システム
    幅広い分光レンジ、各種光源を選択可能
  • 反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数の解析機能も使用可能
    標準整備のカメラで測定位置を同時に記録
  • サンプルを置くだけ。光学系の調整が全く不要で、驚くほど簡単にセットアップ

主な用途

フラットパネル PETやガラス基板上のポリイミド、ITO、レジスト、酸化膜、反射防止コーティング、各種光学フィルム
光学コーティング ガラス、メガネ、レンズ等のハードコート
薄膜太陽電池 CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど

製品ラインナップ

 

 モデル

 F10-RT

-UV

 F10-RT

 F10-RT

‐NIR

 F10-RT

 ‐NIR

 F10-RT

 ‐UVX

測定波長

範囲

 190 – 1100nm 380 – 1050nm  950 – 1700nm  380 – 1050nm 380 – 1050nm

膜厚測定

範囲

 1nm – 40μm 15nm – 70μm  100nm – 150μm  15nm – 150μm 1nm – 150μm

正確性

膜厚の±0.2% 膜厚の±0.4% 膜厚の±0.2%
1nm 2nm 3nm 2nm 1nm

光源

重水素・

ハロゲン

ハロゲン

重水素・

ハロゲン

測定例

フラットパネルで使用される透明電極ITOの膜厚、屈折率の測定例
反射率と透過率を同時に測定。膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、膜厚、屈折率などを瞬時に解析します。

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
aRTie 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
2017年12月13日~15日に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON JAPAN」に出展します。皆様のご来場をおまちしております。
2017年10月31日~11月1日に筑波大学東京キャンパスで開催される「OPJEXPO 2017」(日本光学会附設展示会)に出展します。
2017年9月13日~15日に東京ビッグサイトで開催された「測定計測展」に出展しました。皆様のご来場に感謝します。

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