F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム

F10-RT 反射･透過･膜厚測定システム

F10-RTは、測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システムです。反射率･透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数を簡単に解析することができます。

USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。

フラットパネル	PETやガラス基板上のポリイミド、ITO、レジスト、酸化膜、反射防止コーティング、各種光学フィルム
光学コーティング	ガラス、メガネ、レンズ等のハードコート
薄膜太陽電池	CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど

モデル	F10-RT -UV	F10-RT	F10-RT ‐NIR	F10-RT 　‐NIR	F10-RT 　‐UVX
測定波長範囲	190 – 1100nm	380 – 1050nm	950 – 1700nm	380 – 1050nm	190 – 1700nm
膜厚測定範囲	1nm – 40μm	15nm – 70μm	100nm – 150μm	15nm – 150μm	1nm – 150μm
正確性	膜厚の±0.2％		膜厚の±0.4％	膜厚の±0.2％
正確性	1nm	2nm	3nm	2nm	1nm
光源	重水素・ハロゲン	ハロゲン			重水素・ハロゲン

フラットパネルで使用される透明電極ITOの膜厚、屈折率の測定例
反射率と透過率を同時に測定。膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、膜厚、屈折率などを瞬時に解析します。