F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム

F10-RTは、測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システムです。 反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数を簡単に解析することができます。
USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。
USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。
主な特徴
- 測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システム
幅広い分光レンジ、各種光源を選択可能 - 反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数の解析機能も使用可能
標準整備のカメラで測定位置を同時に記録 - サンプルを置くだけ。光学系の調整が全く不要で、驚くほど簡単にセットアップ
主な用途
フラットパネル | PETやガラス基板上のポリイミド、ITO、レジスト、酸化膜、反射防止コーティング、各種光学フィルム |
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光学コーティング | ガラス、メガネ、レンズ等のハードコート |
薄膜太陽電池 | CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど |
製品ラインナップ
モデル |
F10-RT -UV |
F10-RT |
F10-RT ‐NIR |
F10-RT ‐NIR |
F10-RT ‐UVX |
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測定波長 範囲 |
190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 190 – 1700nm |
膜厚測定 範囲 |
1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
正確性 |
膜厚の±0.2% | 膜厚の±0.4% | 膜厚の±0.2% | ||
1nm | 2nm | 3nm | 2nm | 1nm | |
光源 |
重水素・ ハロゲン |
ハロゲン |
重水素・ ハロゲン |
測定例
フラットパネルで使用される透明電極ITOの膜厚、屈折率の測定例
反射率と透過率を同時に測定。膜厚解析FILMeasureソフトウエアは、膜厚、屈折率などを瞬時に解析します。