F3-CS 卓上膜厚測定システム

F3-CS 卓上膜厚測定システム

F3-CSは、小さいサンプルの測定に最適な測定システムです。測定ステージと一体型の測定システムで、持ち運びが簡単です。
サンプルの測定面を下向きにステージに置くだけで測定でき、膜厚・屈折率を1秒程度で測定できます。

主な特徴

  • コンパクトサイズ
  • 簡単接続、USB接続のみ
  • 光学定数(屈折率・消衰係数)の解析

主な用途

光学コーティング ハードコート、防滴膜、パリレンなど
フラットパネル 有機膜など

製品ラインナップ

モデル F3-CS-UV F3-CS F3-CS-NIR
測定波長範囲 190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm

膜厚測定範囲

3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm
正確性* 膜厚の±0.2% 膜厚の±0.4%
1nm 2nm 3nm

サンプルや測定条件に依存します

測定例

半導体などの精密加工品からメガネや自動車部品まで、様々なサンプルの膜厚測定が可能です。

 

ポリシリコン膜の膜厚・屈折率の解析

製品情報
Profilm3D 3次元表面形状測定システム
F20 膜厚測定システム
F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム
F3-sX 基板厚測定システム
F3-CS 卓上膜厚測定システム
F40 汎用顕微鏡モデル
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデル
F50 自動膜厚測定システム
F60 アライメント自動膜厚測定システム
F54 顕微式自動膜厚測定システム
お知らせ一覧
表面形状測定例がこちらからご覧頂けるようになりました
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