Zeta-20 マルチ共焦点顕微鏡システム
Zeta-20は共焦点顕微鏡システムで、非接触で3次元形状の測定が出来ます。
独自のZDot™テクノロジーを採用し、透明なサンプルや金属表面の段差・粗さ・寸法を測定します。
デュアルLED光源を使い、高反射率部分と低反射率部分を同時に測定する事が出来ます。
独自のZDot™テクノロジーを採用し、透明なサンプルや金属表面の段差・粗さ・寸法を測定します。
デュアルLED光源を使い、高反射率部分と低反射率部分を同時に測定する事が出来ます。
主な特徴
- 非接触で3次元形状を測定
- 独自のZDot™テクノロジーで高速測定
- 段差・粗さ・寸法とTrue color画像イメージを表示
- デュアルLED光源を採用
主な用途
| マイクロデバイス | マイクロ流体デバイス、マイクロレンズ |
|---|---|
| 太陽電池 | セルの電極 |
| LED | パターン化サファイア基板 |
| 半導体 | バンプ、配線 |
| 医療 | マイクロニードル |
主な技術
ZDot™テクノロジー
ZDot™テクノロジーは、グリッドを使ったコンフォーカル顕微鏡の特許技術です。グリッドパターンがサンプル表面に投影され、サンプル表面に焦点が合っている時に高いコントラストが現れます。
Zの位置を動かしながら、個々のグリッドで最大コントラストになるZ位置の情報を記録することで、サンプルの高さ情報を取り込むことが出来ます。デュアルLED光源によりTrue Color画像を取り込む事が出来ます。
ZDot™テクノロジーは、高精度3Dプロファイルと高解像度True Color画像を、簡単・高速に測定することを可能にしました。
測定例
測定例はこちらからもご覧いただけます → Zeta-20D 測定例
太陽電池
ハイダイナミックレンジに対応したZdot™テクノロジーを使用することで、サンプル内に非常に低い反射率のエリアと非常に高い反射率のエリアの両方があっても、簡単に測定する事が出来ます。
太陽電池は、低い反射率の窒化物のエリアと高い反射率の銀配線で構成されています。銀配線の高さ、幅、体積を同時に測定することができます。
レジストパターン
レジストパターンの深さ、径を簡単に測定する事が出来ます。レジスト膜厚が10μm以上であれば、膜厚も測定する事が出来ます。